先进制程检测 重要解决方案!!

微观尺寸的材料成份、特性与结构往往主宰着巨观世界里的物质特性,因此在新技术开发阶段或是失效分析领域中材料分析皆扮演着重要的地位。

应用领域

芯片产业、LED 产业、面板产业、TFT-LCD 产业、太阳能电池产业、奈米材料研究等。

服务项目

样品前处理

双束聚焦离子束(Dual beam FIB)

结构观察

扫描式电子显微镜 (SEM)

穿透式电子显微镜 (TEM)

双束聚焦离子束(Dual beam FIB)

双束电浆离子束 (Plasma FIB)

表面分析

俄歇电子能谱仪 (AES)

X 光光电子能谱仪 (XPS/ESCA)

二次离子质谱分析仪 (SIMS)

X光绕射分析 (XRD)

原子力显微镜 (AFM)

白光干涉仪 (WLI)

傅立叶变换红外光谱仪 (FTIR)

热特性分析

动态热机械分析仪 (DMA)

示差扫描热分析仪 (DSC)

热重分析仪 (TGA)

热机械分析仪 (TMA)

成份分析

扫描式电子显微镜 (SEM)

穿透式电子显微镜 (TEM)

俄歇电子能谱仪 (AES)

X 光光电子能谱仪 (XPS/ESCA)