日本日立场发射扫描电子显微镜SU8200系列(SU8220,SU8230,SU8240)产品详细信息
日本日立场发射扫描电子显微镜SU8200系列(SU8220,SU8230,SU8240)概述
日立高新场发射扫描电子显微镜SU8200系列(HITACHI UHR FE-SEM SU8200 Series,SU8220,SU8230,SU8240)采用日立高新技术公司全新开发的冷场电子枪,实现超高分辨率下观察的同时,稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。在日立高新的新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中,有SU8220、SU8230、SU8240三款机型,于5月20日开始发售。
日本日立场发射扫描电子显微镜SU8200系列(SU8220,SU8230,SU8240)特点
★ 沿用”SU8200系列”的冷场发射电子枪*2
★ 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
★ 采用污染小、高真空样品仓
★ 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2
★ 极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒
着陆电压:10 V超高分辨观察
样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV低加速电压下高分辨EDX分析
样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV
*2仅限Regulus8240/8230/8220
日本日立场发射扫描电子显微镜SU8200系列(SU8220,SU8230,SU8240)规格表
项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
二次电子分辨率 | 0.7 nm (加速电压15 kV) 0.8 nm (着陆电压1 kV)*3 | 0.6 nm(加速电压 15 kV) 0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3 | |||||
着陆电压 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | |||||
样品台 | 样品台控制 | 3轴马达台(可选5轴马达台) | 5轴马达驱动 | ||||
移动范围 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
再现性 | – | – | – | ±0.5 µm以下含±0.5 µm |
- *3
- 减速模式下观察
- *4
- 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
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