韩国帕克原子力显微镜NX20
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球最精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
最强大全面的分析功能
Park NX20具备独一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作
ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
韩国帕克原子力显微镜NX20特点
★ 为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案
■缺陷检查成像和分析
■高分辨率电子扫描模式
■对样品和基片进行表面粗糙度测量
■样品侧壁三维结构测量
★ 低噪音Z探测器可精确测量AFM表面形貌
■非接触模式，降低针尖磨损，减少换探针时间
■非接触模式下的快速缺陷成像
■业内领先的三维结构测量的解耦XY扫瞄系统
■通过使用热匹配的组件，尽量减少系统漂移和迟滞现象
★ 低噪声Z探测器可精确测量AFM表面形貌
■业界领先的低噪声Z检测器测量样品表面形貌
■没有过沿过冲和压电蠕变误差的真正样品表面形貌
■即使是高速扫描也可以保持精确的表面高度
■行业领先的前向和后向扫描间隙横向漂移小于0.15%
★ 用真正的非接触扫描方式节省成本
■在一般用途和缺陷成像中，具有普通扫描模式10倍或更长的针尖使用寿命
■减少针尖的尖端摩损
■最真实的再现样品微观三维形貌，减少样品在扫描过程中的损坏或变形
★ 简单的探针和样品更换
独有的专利设计让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。
借助安装悬臂式探针夹头中于预先校准的探针位置，无须再进行繁琐的激光调节工作。
★ 带有两级反馈系统的闭环XY扫描器
XY扫平板扫描器的每个轴上的低噪声位移传应器，
可以在进行大扫描范围时提高样本扫描正交性。
次级传感器会对非线性和非平面位置错误进行补偿，最真实的还原样品的形貌。
★ 闪电般快速的自动进针
自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。
通过监测悬臂接近表面的反应，Park NX20能够在探针装载后，十秒内自动快速完成探针进针操作。高速、轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得探针无需用户干预就能快速接触样品表面。
★ 主动温控隔音罩
专为Park NX20设计的隔音罩，主动进行温度调节功能，保证侧试环境在一个完全稳定的热环境中。 Park NX20 还具有主动隔振功能，完全与外界的声、光噪声隔离，因此测试的准确性将不受到外界干扰。
