日本日立新型台式扫描电镜TM4000产品详细信息
日本日立新型台式扫描电镜TM4000概述
“TM4000”和“TM4000Plus”可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程,大幅提高了工作效率。还标配了报告生成功能,观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成Microsoft®Word®、Excel®、PowerPoint®格式的报告。此外,选配项还可实现更多功能。可在样品仓内加装光学相机来拍摄照片,以往通过经验寻找目标位置*1,现在可在显示屏上直接操作。在拍摄SEM图像时,由于“TM4000”和“TM4000Plus”配置双轴马达台*2,原来需手动调整的操作,现在只需在显示器上选择要观察的位置即可。
*1寻找目标位置:指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下,电子显微镜放大倍率较高,不仅仅需要观察局部图像,还要观察整体的图像。
*2双轴马达台:根据操作人员的观察需求,可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。
另外,在确认拍摄的SEM图像时,由于SEM图像放大倍率高,找到所有SEM图像的观察位置需要花费一定时间。而这两种机型可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联,并将结果显示在显示器上,使各图像的位置更为直观。
两种机型经过全新设计,尺寸和重量比前代机型更小,还可选配光学相机和双轴马达台,今后将会被应用到更广泛的领域。
日本日立新型台式扫描电镜TM4000特点
★ 操作直观,支持使用目标数据制作报告等一系列作业
为满足客户的”想要不进行样品前处理,直接启动设备,快速且简单获取目标样品数据”需求,TM4000系列进行了全面改进。
可观察最大直径为80 mm,厚度为50 mm的样品。设备内置光学相机 (选配),可轻松寻找目标样品。
从装样到获取图像仅需3分钟左右,优化了原来的形状观察、元素分析到报告制作的工作流程。
★ Camera Navi (选配)
支持光学图像中寻找目标样品和MAP功能下观察样品
Report Creater
仅需选择图像和模板即可完成Word®、Excel®、Powerpoint®格式的报告。
★ 全新设计的电子光学系统实现了高画质图像
样品:水泥 5 kV UVD
★ 环保型SEM采用无油真空系统,任何地方均可安装
采用无油泵和无需做对中的预对中灯丝
日本日立新型台式扫描电镜TM4000规格表
项目 | TM4000Plus | TM4000 |
---|---|---|
放大倍率 | ×10~×100,000 (底片倍率) ×25~×250,000 (显示器倍率) | |
加速电压 | 5 kV、10 kV、15 kV | |
图像信号 | 背散射电子 二次电子 合成 (背散射电子+二次电子) | 背散射电子 |
真空模式 | 导电体 (仅限背散射电子) 标准 减轻荷电 | 标准 减轻荷电 |
图像模式(背散射电子) | 标准(BSE)、阴影像1、阴影像2、凹凸形貌像 | |
样品移动范围 | X: 40 mm Y: 35 mm | |
最大样品尺寸 | 80 mm(直径) 50 mm(厚度) | |
电子枪 | 预对中型 钨灯丝 | |
探测器 | 背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器 二次电子: 高灵敏度低真空二次电子探测器 | 背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器 |
图像自动调整功能 | 自动启动、自动聚焦、自动亮度调整 | |
图像存储像素 | 2,560×1,920 像素、1,280×960 像素、640×480 像素 | |
图像格式 | BMP、TIFF、JPEG | |
数据显示 | 标尺、微尺值、放大倍率、日期、时间、图像No.WD、注释、加速电压、真空模式、图像模式、图像信号 | |
真空系统(真空泵) | 涡轮分子泵: 67 L/s 1台 隔膜泵: 20 L/min | |
操作辅助功能 | 电子束旋转、预设倍率(3级) 电子束偏转(±50 µm @ WD6.0 mm) | |
安全功能 | 带过电流保护功能、内置漏电断路器 | |
尺寸&重量 | 主机: 330(长)×614(宽)×547(高) mm、52 kg(motor drive stage) 主机: 330(长)×617(宽)×547(高) mm、52 kg(manual stage) 隔膜泵: 144(长)×270(宽)×216(高) mm |
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