日本日立热场式场发射扫描电镜SU5000产品详细信息
日本日立热场式场发射扫描电镜SU5000概述
日立高新技术公司(以下简称：日立高新)8月4日开始发售的肖特基式场发射
扫描电子显微镜”SU5000″，搭载了全新的用户界面和”EM Wizard”，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。
扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。
这次新开发的”SU5000″对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。”EM Wizard”以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来;对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是”EM Wizard”的价值所在。
另外”SU5000″的寻找视野功能”3D MultiFinder”更是独一无二的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。
日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的”Microscopy & Microanalysis”，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的”JASIS 2014″，9月7日至9月12日在捷克举行的”18th International Microscopy Congress”上都做了实机展出。
*：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。
肖特基式场发射电子显微镜”SU5000″ “EM Wizard”画面样式
日本日立热场式场发射扫描电镜SU5000特点
高性能电子光学系统
★ 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
★ 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
★ 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
★ 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
★ 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
★ 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
★ *：选配附件
日本日立热场式场发射扫描电镜SU5000规格表
| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2 | |
| 放大倍率 | 10 – 600,000× (底片倍率), 18 – 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 – 1,500,000× (1,280 × 960 像素) | |
| 电子光学系统 | 电子枪 | ZrO /W 肖特基式电子枪 |
| 加速电压 | 0.5 – 30 kV (0.1 kV 步进) | |
| 着陆电压 | 减速模式: 0.1 – 2.0 kV ＊1 | |
| 最大束流 | > 200 nA | |
| 探测器 | 低位二次电子探测器 | |
| 低真空模式*2 | 真空范围: 10 – 300 Pa | |
| 马达台 | 马达台控制 | 5 – 轴自动 (优中心) |
| 可动范围 | X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360° | |
| 最大样品尺寸 | 最大直径: 200 mm 最大高度: 80 mm | |
| 选配探测器 |
| |
- *1：
- 减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）
- *2：
- 低真空功能（包含5分割半导体探测器）
- *3：
- 空压机(本地采购)
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